中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9246548 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、イメージングと加工の幅広いオプションを提供するフォトレジスト機器です。光学リソグラフィやエッチング、成膜、リフトオフなどの高度なパターニングプロセスのための効率的なプラットフォームを提供します。高速多波長レーザーと優れたミラーユニットを使用して、半導体ウェーハ上にシャープで高解像度の画像を作成します。また、基板温度を正確に制御し、最高品質のパターン分解能を確保する動的熱段階を備えています。このマシンは、欠陥や汚染を軽減するように設計されているため、高解像度の敏感なアプリケーションに最適です。それは粒子、湿気および空気中の汚染を取除くために3つの単位を含む高度のろ過用具を特色にします。また、TEL Clean Track Mark 7には最先端の空気流量アセットが搭載されています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、シリコン・オン・インシュレータ・ウェーハ（SOI）やシリコン・オン・サファイア・ウェーハ（SOS）など、さまざまな材料を加工することができます。さらに、ウェット、ドライ、レーザー蒸着/リフトオフプロセスなど、幅広い蒸着およびリフトオフオプションを備えています。最後に、クリーントラックマーク7には高度なイメージングシステムが装備されています。このユニットは、DRAMとSRAMの両方のアプリケーションに適した0。5ミクロンまでのパターンを解決することができます。さらに、マシンは複数のレイヤー転送を処理することができ、異なるレイヤー間で高い精度と再現性を確保します。さらに、マシンは高度なアライメント機能を提供し、ユーザーが基板上に異なるレイヤーを正確に配置することができます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、半導体ウェーハのイメージングと加工を行うための強力で信頼性の高いフォトレジストツールです。高解像度のイメージング機能、複数の蒸着/リフトオフオプション、高度なエアフローろ過、優れたアライメント機能を備えています。この機械はいろいろなイメージ投射および処理の適用のための理想的な選択です。
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