中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243715 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高精度で高スループットエッチングを実現するフォトレジスト機器です。半導体チップ、電界効果トランジスタ、薄膜トランジスタなど、さまざまなマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用するために設計されています。「クリーントラック」と呼ばれる独自の静電充電プロセスを採用し、ウェーハ層間の洗浄工程を不要にし、生産効率の向上を実現しています。TEL Clean Track Mark 7にはユーザー定義の環境チャンバーがあり、エッチング工程中の温度と湿度条件を最適に制御できます。これにより、ウェーハ上の静電気の発生を防ぎ、より正確で再現性のあるエッチング処理を可能にします。また、Mark 7には高解像度カメラが搭載されており、エッチング操作を正確に制御し、高精度で再現性の高い結果を得ることができます。また、マルチゾーンコントローラを備えており、フィルムの厚さ、エッチング速度、ウェーハのさまざまな領域でのエッチングの均一性などのパラメータを同時に調整できます。このユニットには、簡単に使用できるいくつかの自動化された機能があります。特定のプロセスを完了するために必要な適切なエッチングパラメータを自動的に選択するようにプログラムすることができ、過剰エッチングのリスクを最小限に抑えながら、最適な均一性と精度を確保します。また、ソフトウェアは、人員の安全性とエッチング中の材料の完全性を確保する安全機能の範囲が含まれています。最後に、Mark 7は自動データ収集用の「クリーントラック」ソフトウェアスイートとシームレスな統合を提供し、ユーザーは必要に応じてレコードに素早くアクセスし、傾向を分析し、パラメータを調整することができます。ソフトウェアには根本原因解析機能も含まれており、発生する前にプロセスの問題を特定することができます。これにより、機械の性能と信頼性が向上します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、最新のソフトウェアスイートの安全性とデータ収集機能を追加し、一貫性のある高精度なエッチングを提供する高度なフォトレジストツールです。