中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243714 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、半導体産業におけるフォトリソグラフィープロセスに使用される最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、集積回路のサブミクロン機能の精度と再現性を向上させるように設計されています。フォトリソグラフィー（Photolithography）とは、半導体業界で使用されている半導体ウェーハや液晶ガラスなどの基材にパターンを貼り付けるプロセスです。このユニットは、強力な投影光学系と高精度のステージを使用して、基板材料の露出および露出されていない部分を整列させます。TEL Clean Track Mark 7は、高い精度と再現性を実現するために、高性能な光学ツールとモーションコントロールアセットを搭載し、基材の経路と検査を制御します。光学モデルは、コーティングに光を集中させるブロードバンドコリメーションレンズを搭載しています。高速、超精密、ステップアンドリピートモーション制御装置は、基板アライメントおよび部品配置用の3軸リニアステージと、スキャン、検査、すすぎ用の6軸関節ロボットアームで構成されています。フォトレジスト素材の層を基材に正確かつ再現可能に配置するシステムです。この技術には、基材から残留物、ほこり、汚染物質を除去する自動洗浄ステーションと、適切な層の配置とアライメントを確認するフィルム検査ステーションも含まれています。最先端のTOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7ユニットには、フォトレジスト層の検査と最適化のための革新的な画像認識アルゴリズムとロボットツールが組み込まれています。この機械は、欠陥や欠陥を2µmのように小さく検出することができ、5µm精度でライン端の粗さとチップ間の距離を測定することができます。Clean Track Mark 7ツールはTELが特許を取得しており、最先端の半導体プロセス技術を実装するための主要なフォトレジスト資産です。半導体、ディスプレイ、データストレージなど多くの産業で活用されている高精度フォトリソグラフィープロセスに、高精度、再現性、信頼性を提供します。装置の精度と汎用性により、小型、超高密度の電子部品を製造するのに理想的なソリューションです。