中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243712 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高精度リソグラフィ作業用の高水準ウェハクリーニングを実現するフォトレジスト装置です。業界トップクラスのウェットプロセス機器を活用したポストプロセスウェーハ洗浄やフィルム開発など、パターン作成の精度を最大限に引き出します。さらに、よりクリーンなプロセス制御とプロセス安定性の向上を可能にします。TELクリーントラックマーク7ユニットは、気密性と環境汚染を最小限に抑えるように設計されたEasy-Close Door Cover Assemblyで構成されています。これにより、機械内の環境が適切に維持され、最適な材料結果が得られます。また、自動洗浄流体混合モジュールである「CFM」を搭載し、東京エレクトロンクリーントラックマーク7の最適化とバランスの取れた洗浄動作を実現しています。このツールはまた、高度なウェットプロセスクリーナーとフィルム開発者を利用しています。このメカニズムは、特殊なエージェントを使用して、パターン内の不整合を取り除きながら、ウェーハを迅速かつ徹底的に洗浄します。さらに、フィルム開発者はフォトレジスト材料層を開発し、正確で明確なパターンを作成します。Clean Track Mark 7アセットは、最適なユーザビリティのために設計されています。それは自動的に処理されているウェーハのタイプを検出し、それに応じてその動作条件を適応させるインテリジェントモデルです。これにより、加工精度と一貫性が向上します。また、最大350のプログラムを格納するようにプログラムすることができ、手動入力を最小限に抑えて簡単かつ迅速な操作を可能にします。システムはまた完全な安全を保障するために保護警報機能と補強されます。この警報は漏出の潜在的なレベルを検出し、それに応じて操作プロセスを調節できます。これは、環境汚染、ならびに怪我の可能性を防ぐのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7ユニットは、パワフルで先進的なフォトレジストマシンで、使い勝手を損なうことなく最高の精度を実現します。よりクリーンなプロセス制御とプロセス安定性の向上を実現し、パターン作成における究極の精度を提供します。複雑なリソグラフィ作業に最適なツールです。