中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9192134 を販売中

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ID: 9192134
ウェーハサイズ: 8"
Coater / (2) Developers system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は世界有数のフォトレジストシステムです。集積回路の製造において、埋め込みパターン、スプレーパターン、スパッタパターンに対して高精度、高精度、均一性を提供します。このプラットフォームは長年の研究開発の結果であり、比類のない精度と機能解像度を提供しています。TEL Clean Track Mark 7フォトレジスト装置は、高精度のリソグラフィアルゴリズムと非常に安定した光学システムを備えています。これにより、一貫性のあるリソグラフィ性能と機能の正確な測定の両方が保証されます。さらに、リソグラフィーユニットは、ハイブリッド埋め込み光学と呼ばれる高度な光学アーキテクチャを使用して、収差を低減し、動作速度を向上させます。また、ウェーハ表面の光の散乱を低減する反射防止コーティングを採用し、画像忠実度を高めています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高解像度集積回路パターンを確実に生成できるフォトマスキングに最適です。このツールはまた、ユニークな角度付き凹型光学アセットを備えており、ユニークな角度付きフォトマスクを作成することができます。さらに、エッジラフネスを最小限に抑え、重要な寸法精度を保証する高度な露出システムを採用しています。最後に、装置は高性能のウェーハ処理システムを組み込んでいます。この機能により、ウェーハの取り扱いがいつでもウェーハに影響を与えないため、安全性が維持されます。また、ウェーハは適切なアライメントを維持し、露出ユニットによって完全にクリアされてチップ表面に所望のパターンを取得することができます。さらに、高度なウェーハトランスポートマシンにより、クリーントラックマーク7ツールへのウェーハの迅速かつ簡単な転送が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高精度、高精度、均一性を兼ね備えた高度なフォトレジストアセットです。このモデルは、集積回路パターンを作成するための堅牢で信頼性の高いプラットフォームです。さらに、角化された埋め込み光学系と高度な露光システムにより、フォトマスキングプロセスに最適です。最先端のウェーハハンドリング装置により、ウェーハの安全性とシステムへの容易な転送が保証されます。
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