中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165479 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高度な半導体デバイスの生産と性能を向上させるフォトレジスト機器技術です。このシステムは、さまざまなソースの配列を使用して、ターゲット基板の領域全体にわたって均一で一貫した光の線量を生成します。半導体業界では、望ましい効果を得るために基板を正確に露出させる必要があるため、フォトレジストシステムの重要性がますます高まっています。TEL Clean Track Mark 7は、作業のコストと複雑さの両方を削減するために特別に設計されています。特に、定義済みの強度とウェーハ全体に配信される光の均一な線量。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7ユニットは、光学部品、コントローラ、レジストプロセスコントロールユニットから構成されています。光学部品は、最適化された照明器を使用して、基板に正確かつ均一な方法で光を供給します。これにより、フォトレジストプロセスの精度と再現性が保証されます。コントローラーは放出されるライトの強度を調整し、線量を測定するために責任があり、従って光学部品にフィードバックおよび制御を提供し、プロセス制御の単位に抵抗します。レジストプロセスコントロールユニットは、ケミカルガルバニックおよび乾燥潜入プロセスを制御するために使用され、エッチングのプロセスパラメータを最適化する上で重要な役割を果たします。フォトレジストプロセスに関連する重要な問題に対処するために、Clean Track Mark 7マシンは、基板全体にわたってサーマルプロファイル、正確なタイミング、均一な光の強度など、多くの顕著な機能を備えて設計されています。これを容易にするために、高効率の光子検出器と均一な光源がツールに統合されています。さらに、線量と露出時間の正確な制御は、コントローラによって行われます。これらの機能により、効率的かつ正確な操作が保証され、生産性とリソグラフィ歩留まりが最大化されます。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7アセットには10インチ拡散板を搭載し、基板上に細かいパターンをエッチングすることで、プロセスウィンドウの最適化を実現しています。さらに、レジスト厚も専用センサーでリアルタイムに測定可能で、精密なレジスト加工制御が可能です。全体として、TEL Clean Track Mark 7モデルは、半導体加工における接触印刷およびリソグラフィに最適な選択肢です。精密にチューニングされた光学部品、正確なコントローラ、改良されたレジスト処理ユニットなどの高度な機能を備えています。これらの部品は結合して基質、有効な熱プロフィールおよび線量および露出時間の精密な制御を渡すために精密で、均一な光線量を提供します。その結果、東京電機クリーントラックマーク7装置は、効率的かつ費用対効果の高い半導体製造を可能にします。