中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165478 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、革新的なリソグラフィープロセスに優れた性能を提供するフォトレジスト機器です。高密度LCD、フラットパネルディスプレイ、半導体デバイス、その他の先端エレクトロニクス製造など、さまざまな用途の大量生産を中心に、高度なマスク製造用に設計されています。TEL Clean Track Mark 7は、ウェットトラックシステムを使用してリソグラフィ処理を行い、最適化されたフォトレジストパターニングプロセスにより、歩留まりとスループットを向上させます。幅広い基板サイズと構成に対応し、毎時120基板まで対応可能です。高精度レーザー集光機を搭載し、優れた均一性と精度で優れたエッチプロファイルを提供します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7には、高解像度マスクアライナーが搭載されており、マスクと高速レチクルの正確な交換を可能にし、フォトレジスト用途に最適な低残留レベルを維持する高度な化学再循環ツールを搭載しています。インテリジェントスプレーアセットは、一貫した最適化された応用レジストを保証し、高度な焦点検出モデルは正確なステップカバレッジと優れたパターン配置精度を実現します。この装置は、メンテナンスと製品寿命の延長のための自動スクラブおよび自動クリーニングメカニズムで、効果的なウェーハ洗浄を保証するように設計されています。システムには、ユニット、制御アプリケーション、およびさまざまな外部ホスト間で重要なデータをリアルタイムで転送できるデータ交換ポートが内蔵されています。これにより、信頼性が高く効率的な操作と効率的なプロセス監視と制御が保証されます。Clean Track Mark 7は数多くの業界標準に準拠しており、施設のリソグラフィ環境に簡単に統合できます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高度なエレクトロニクス生産の要求に応える高性能フォトレジストマシンです。優れた均一性、スループット、ステップカバレッジにより、正確で信頼性の高いパターニング結果を提供し、多種多様な製造アプリケーションに最適です。