中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165473 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、様々な特性を持つ感光膜を正確に沈殿させる高度な機能を備えたモード選択型フォトレジスト装置です。このシステムは、3段階のプロセスを使用して、均一な膜厚とほぼ完全な精度とフォトリソグラフィ用途の解像度を保証します。まず、材料の堆積とマスキングの特定のパターンに基づいて、独自のフォトゾーンのセットが確立されています。これらのゾーンは、マシンビジョンによって誘導され、事前に決定されたフォトゾーン上のフォトレジストフィルムの堆積を指示します。ユーザーは、所望のタイプのフォトリソグラフィに応じて、フィルムの厚さのさまざまな程度と、プロセス内の他の追加のステップの間で選択することができます。第2段階では、フォトレジストフィルムの濡れを改善するためのプラズマ前処理を適用します。プラズマ前処理は、基板表面と結合する前にフォトレジスト反応を加熱して開始するのに役立つ低エネルギーのイオン化ガスです。プラズマ前処理をさまざまな方法で制御することにより、ユーザーは目的に応じてフォトレジストフィルムの特性を選択的に調整することができます。TEL Clean Track Mark 7の第3ステージは、フォトレジストが紫外線にさらされる場所です。これは一般的に、手動操作の欠点のいくつかを軽減するために一連の機械で行われます。多軸モーションコントロールシステムや精密光学系を活用することで、高解像度の画像を素早く取得することができます。さらに、このマシンは独自のソフトウェアツールを使用して、解像度を最適化し、パラメータの校正と調整を自動化します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、その精度と均一性により、フォトリソグラフィ用途に最適なツールです。3段階のプロセスにより、フォトレジスト沈着の精度と分解能を高精度に達成することができます。アセットを使用することで、さまざまな厚みのフォトレジスタ材料を一貫した信頼性の高い方法で実現できます。さらに、モデルの高度に自動化された性質は、ユーザーが高い精度と解像度を期待できる迅速で効率的なプロセスを可能にします。