中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165472 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 （CTM-7）は、東京エレクトロンが開発した先進的なフォトレジスト機器で、半導体製造の先端プロセスに使用されています。CTM-7は、これまで以上に迅速かつ正確にウェーハを処理することを可能にする、多くの最先端の技術を利用しています。CTM-7は、高精度の鉛ねじとロールねじを備えたリレー式のトラックシステムと、ローリングガイドアセンブリを使用しており、ウェーハが正確な経路に沿って移動することを保証します。また、CTM-7は独自の二段回転構造を採用し、ウェーハの均一な動きを確保し、ウェーハの回転に要する時間を短縮します。また、CTM-7には高解像度カメラユニットを搭載しており、ウェーハ情報の検出と保存が可能です。この情報は、ウェーハ上のフォトレジストプロセスを導くために使用され、フォトレジストの最適な適用を保証します。CTM-7はまた、CTM-7の様々な地域で均一な温度を維持することができるマルチゾーン温度制御機が装備されています。このツールは、-10°Cから+250°Cまでの温度を正確に制御することができます。CTM-7は、ウェットベンチ、ヒーターコントローラ、リソグラフィーシステムなど、他の複数のシステムと統合することもできます。これにより、プロセスの複数の段階にわたる統合が可能になります。CTM-7は、半導体の製造に使用するために設計された高度なフォトレジスト資産です。その高度な設計と機能により、ウェーハを正確かつ迅速に処理することができ、生産ラインでの使用に理想的なモデルとなります。さらに、他のシステムと統合できるため、フォトレジストプロセスを合理化するための強力なソリューションとなります。