中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165446 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 （CTM7）は、金属、エレクトロニクス、ガラスなど、さまざまな基板上に正確なステンシルやエッチングパターンを正確にスキャンするフォトレジスト機器です。このシステムは、最新の半導体およびパッケージング技術を活用するために開発されました。正確なパターン形成を防ぐことができるほこり、汚れ、その他の汚れを排除する「クリーン」プリントヘッドで設計されています。CTM7は、シャトルユニット、ベローズ、回転板を備えた両面チャックで構成されています。シャトル機は、パネルまたは基板をステーションからステーションに移動させ、プロセスの各ステップを自動的に実行します。ベローズはパネルを中央に置き、ツールと一緒に真空バッグをシールします。プロセスには3つの段階があります。まず、成膜のために基板表面を準備するための前処理を行います。この段階では、基板の表面からほこり、汚れ、その他の汚染物質が除去されます。基板を加熱することで、効率的な接着が可能になります。次に、フォトレジストの沈着が行われます。フォトレジストは光にさらされた液体で、硬化すると固化します。レーザービームを使用して、0。5ミクロンの精度で基板をフォトレジスト材料に露出させます。このステッピングアセットは、基板の精密パターンとエッチングを可能にします。最後に、ポストプロセスが行われます。このステップは、基板から残りのすべてのフォトレジストを除去します。熱い液体の洗浄、続いて基質乾燥と電気化学エッチングがプロセスを完了します。その結果、多くの用途に使用できる高精度、高信頼性のステンシルが得られます。CTM7は効率的で費用対効果の高いツールです。従来のプロセスよりも短時間で正確なインプリントで、一度にパネルまで処理できます。その結果、CTM7は生産を最適化しながらエネルギー消費を削減します。