中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158029 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 （CTM7）は、ウェーハの洗浄・加工に最適化されたフォトレジスト装置です。このシステムは、高性能ビームレコーダー（HBR）を使用して、半導体ウェーハの高解像度画像をキャプチャおよび処理します。このCTM7は、3軸の移調テーブルを備えており、イメージングプロセスのためのウェーハの正確な位置決めを可能にします。イメージングプロセスは、多種多様なツール構成を利用し、最大12個の高度なレンズを使用してダイナミックウェーハスキャンを行います。レンズは、25ナノメートル（nm）の解像度でウェーハ上の機能をキャプチャして処理することができます。CTM7は、フォトレジスト技術を使用して半導体ウェーハの画像をキャプチャします。フォトレジストは、ウェーハの表面にパターンを作成するために、現代の半導体製造で使用される光感受性材料です。CTM7は、適切な波長のレーザー光でウェーハを照らし、HBRカメラは反射画像をキャプチャします。キャプチャされた画像はデジタル化され、さらなる処理のために記録されます。CTM7は、ウェーハ上の複数のフォトレジストをサポートし、必要なレイヤーはデバイス設計によって決定されます。CTM7には、ユニークな多次元ウェーハシャトルユニット（MDSS）も装備されています。MDSSにより、HBRチャンバとプロセスチャンバ間でウェーハを素早く転送できます。また、MDSSはウェーハの裏面イメージングを可能にし、フォトレジストマシンがデバイスの機能をキャプチャして記録する能力を高めます。CTM7の先進的な技術と機能により、最も先進的で信頼性の高いフォトレジストシステムの1つです。このツールは、最大の効率と信頼性のために設計されており、半導体製造のコストを削減します。さらに、CTM7には、自動チェックアウト、パワーオフ保護、レーザーディセーブル、緊急停止などのさまざまな安全機能が含まれています。これらの機能により、CTM7は半導体製造において最も安全な選択肢の1つになります。