中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158028 を販売中

TELフォトレジストTEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 （TEL Clean Track Mark 7）は、今日の高度な半導体製造プロセスのニーズを満たすように設計された最先端のフォトレジスト開発者です。フォトレジスト開発者は、パターンをウェーハにエッチングするために使用され、リソグラフィ工程中にパターンが正確に再現されます。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、優れた清潔性と均一性を提供するように設計されています。この装置は、独自のASCENE™バックグラウンドクリーニングソリューションを使用しており、バックグラウンドレベルが非常に低く、均一に分散した粒子を提供します。これにより、繊細なフォトレジストパターンをより正確に処理できます。また、高精度な露光ステージを搭載し、高精度かつ再現性の高い露光を実現しています。クリーントラックマーク7は、パターンエッチングを最適化するための強力な画像解析ユニットも備えています。開発したレジストパターンの解析・評価が可能で、最良の結果が得られます。統合されたレジストコーター/デベロッパーは、従来のフォトレジストと新しいフォトレジストの両方を容易に処理し、さまざまな半導体デバイス処理アプリケーションに適しています。また、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7には、ハロゲン、フッ素、窒素、オゾン、酸素などのガス物質を制御するための強力なガス流量処理ツールが搭載されています。このアセットにより、レジスト開発プロセス中のウェーハの洗浄に適切なガス濃度のみが使用されます。このモデルは、安全性を念頭に置いて設計および構築されており、フルスペクトル安全インターロック、アラームシステム、緊急停止ボタンなどの一連の安全コンポーネントを備えています。この装置は、半導体製造装置に特化したサードパーティのテストラボであるTÜV Rheinland Semiconductorによっても認証されています。全体として、TEL Clean Track Mark 7は、今日の高度な半導体デバイス製造プロセスの厳しい要求を満たすように設計された先進的なフォトレジスト開発者です。洗練された露出、パターン解析、ガスフロー処理機能を備えており、高品質の画像処理とウェーハ洗浄を実現しています。このユニットは安全性を念頭に置いて構築されており、尊敬されているサードパーティのテストラボから必要なすべての認証を取得しています。