中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158027 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 9158027
ウェーハサイズ: 8"
Coater / Developer system, 8" Single block 1C1SCR2D1IFB.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、集積回路(IC)の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、IC基板をUV光源に露出させることで動作します。このユニットは、デジタルロジック、アナログデバイス、アプリケーション固有の集積回路(ASIC)など、さまざまなタイプのICの作成に使用されます。このマシンは、フォトレジスト供給、フォトレジスト開発ユニット、マスクアライメントツール、フォトレジスト露出アセット、フォトレジスト除去ユニットなど、いくつかの部品で構成されています。フォトレジストの供給部品は、その清潔さを確保し、各混合物の同じ条件を保証する方法でフォトレジストを供給し、保管する責任があります。フォトレジスト開発ユニットは、一貫した正確なフォトレジスト開発を保証します。フォトレジスト混合物を正確に配置し、測定し、一貫した結果を得るために開発プロセスを制御する責任があります。マスクアライメントモデルは、マスクからIC基板へのフォトレジストの正確な転送を保証する責任があります。このコンポーネントは、ウェーハ上のフォトマスクの適切な配置を補助し、正しい機能がIC基板に正確に転送されるようにします。フォトレジスト露光装置は、UV光源とその均一性とパワーを制御する責任があります。これにより、フォトレジストがフォトマスク全体に均等に露出し、必要なパターンがIC基板に正確に転送されることが保証されます。最後に、フォトレジスト除去ユニットは、フォトレジストのエッチング処理を管理する責任があります。これには、エッチング工程のタイミング、エッチング工程で使用される化学成分、およびエッチング工程全体を清潔に保つことが含まれます。TEL Clean Track Mark 7は、集積回路の製造におけるフォトレジスト用途向けの強力で信頼性の高いシステムです。フォトマスクのアライメントとフォトレジストの露出を効果的かつ正確に行うために、複数のシステムを1つに統合しています。フォトレジストをIC基板に均一に搬送することが可能で、開発・エッチング工程を正確に制御し、優れた結果を得ることができます。この機械は、さまざまなIC生産ニーズに適しており、IC製造施設の大部分に依存しています。
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