中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158026 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、ICや半導体メーカーの生産歩留まり向上を目的とした最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジストの正確なパターン化を可能にする、プレハブ薄い金属、ポリイミド、および他のフィルム基板ウエハにフォトポリマー「インク」を適用します。TEL Clean Track Mark 7は、高度な統合されたプロセスアライメント機能を備えており、0.25µmまでのパターンへの露出を迅速かつ正確にアライメントできます。この機能は、0。6 µmの順序でパターンの感光精度を向上させます。また、自動ウォームアップオプションも備えており、露出プロセスの前に迅速な加熱プロセスを提供し、温度の不均一による露出異常を防止します。超短波長エキシマレーザーを使用し、感光画像の精度を向上させます。このレーザーはより高い明るさおよびより大きい露出の区域を提供します、より少ない機械周期時間のより短い露出時間を可能にします。さらに、レーザーは最小の特徴サイズを減らし、効果的に変化を減らすことによって従来のシステムに比べて高い解像度を提供します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7には、DCS （Decontamination Tool）プロセスが組み込まれています。DCSは、露出前にイメージングおよび露出領域の汚染物をきれいにするように設計されています。この機能は、露光プロセス中の汚染の可能性を低減し、フォトレジストパターニングプロセスの精度と安定性を向上させるのに役立ちます。クリーントラックマーク7には、指定された材料と用途に最適なマッチング条件をカスタマイズするためのいくつかのオプションが装備されています。アセットの高度な機能には、リモート診断、モデルメンテナンス、ソフトウェアアップグレードなどのサービスを含む、さまざまなカスタマーサポートサービスが装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、半導体・IC製造において最も信頼性が高く効率的なフォトレジストシステムです。