中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293819950 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、精密加工、成膜、エッチング加工用に設計された自動フォトレジスト装置です。高速レーザスクライブユニットを搭載し、高精度なオーバーレイアライメントが可能です。機械には多くのプロセス調整可能なパラメータが装備されているため、さまざまな基板タイプやプロセス要件に合わせて簡単に調整できます。フォトレジストは、小さな形状の高解像度パターニングのために薄膜形式で提供することができます。このツールは、超高周波マルチビームレーザーソースを使用して、一連のレーザーパルスを生成して、基板表面にパターンをスクライブします。その後、スクライブマークはフォトレジスト沈着サイクルのアライメント参照として使用されます。このアセットは基板表面の地形を正確に制御することができ、埋め込まれたマークに対するフォトレジストの正確な位置決めと登録を可能にします。フォトレジストモデルは、薄膜でフォトレジスト材料を基板表面に堆積させることができます。この精密な薄膜蒸着により、半導体デバイス製造に最適な小型形状の高分解能パターニングが可能です。さらに、スクライビングプロセス用のレーザービームを正確に配置するための統合カメラが装備されています。このカメラは、沈着プロセス中のリアルタイムフィードバックにも使用され、スクライブマーク上のフォトレジストの高精度な登録を可能にします。フォトレジストシステムは、再現性とスループットを考慮して設計されています。このユニットは、1時間あたり最大2,000枚のフォトレコードを使用できます。この高スループットにより、大規模な本番稼働など、スループットが重要なアプリケーションに最適です。TELクリーントラックマーク7マシンは、スクライブ基板上のフォトレジスト材料の堆積のための理想的なソリューションです。高速マルチビームレーザーソースにより、フォトレジスト材料の正確なスクライビングと登録が可能です。統合されたカメラと自動化されたプロセス制御ツールにより、エラーを最小限に抑え、高速サイクル時間で高精度なパターニングが可能です。このアセットは汎用性が高く、さまざまな基板やプロセス要件を持つ小型形状の高解像度パターニングに最適です。