中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293770189 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7（別名CTM7）は、半導体デバイスを製造するフォトレジスト機器です。これは、多種多様なフォトマスクの製造に使用するために設計された、完全に自動化された非接触露光ツールです。このCTM7は、高い歩留まりを維持しながら、厳格な許容レベルで精密なフォトリソグラフィ作業を行うように設計されたミッドレンジのシステムです。ターンテーブルタイプの高度な搬送機構を備え、複数の露出をサポートし、一貫した基板アライメントを保証します。ターンテーブルは高度なステッピングモーターに接続され、正確な基板処理機能を提供します。また、堅い均一性レベルで壊れやすい基板の取り扱いをサポートする真空チャック機も含まれています。このツールは、5インチ、6インチ、および8インチのウェーハを処理することができ、歩留まり率は99。99％です。露出アセットには、超高真空（UHV）ソースチャンバーと光学部品が装備されています。このセットアップにより、露出精度を数ナノメートルに抑えたデュアルフォーカスとスキャン露出操作が可能になります。また、二重露出とレーザー露出の両方の機能と、ラインとエッジの露出の調整可能なアライメントを提供します。このCTM7にはプログラマブルなウェーハ位置決めモデルもあり、ウェーハを露出領域に自動的に配置することができます。これにより、手動入力を最小限に抑えて再現性のある高品質な結果を保証します。さらに、CTM7には、露出プロセスの簡単な操作と正確な制御を可能にする幅広いソフトウェアが付属しています。結論として、TEL Clean Track Mark 7は半導体デバイスの製造に最適な高度なフォトレジスト機器です。ターンテーブルタイプの搬送機構、真空チャックシステム、超高真空ソースチャンバー、デュアルフォーカスおよびスキャン機能、レーザー露出機能、調整可能なアライメント、プログラム可能なウェーハ位置決めユニットを備えています。マニュアル入力を最小限に抑え、一貫性のある高品質な結果を生み出すことができます。