中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293768004 を販売中
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ID: 293768004
ヴィンテージ: 2000
(1) Coater / (2) Developer system
Interface module
Temperature and Humidity Controller (THC)
Chemical cabinet
No power box
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、半導体製造プロセスで使用する革新的なフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体集積回路の製造のために、シリコンウェーハ上に正確に測定され、正確に配置されたフォトレジスト層を適用することができます。このユニットは、高度なLinear Immersion Photoresist Processing （LIPP）技術を使用してフォトレジストを適用します。TELクリーントラックマーク7マシンは、3つの異なる処理ステーションを含む真空環境チャンバーを持っています。最初のステーションは、フォトレジストをウェーハに正確に分配するジェットヘッドです。このジェットヘッドは、各ウェハの表面に非常に正確なフォトレジストを配置するようにプログラムすることができます。2番目のステーションは、ウェーハ上のデザインされたパターン化された層を与える残留フォトレジストを洗い流すために使用される浸漬バブル洗浄ツールです。3番目のステーションには、フォトレジストを加熱して固化させる高度なホットプレートユニットがあり、ウェハ表面にフォトレジストの均一で密度の高い濃度を作り出します。この資産には、高度な安全性と品質対策が数多く装備されています。これらには、ウェーハに損傷を与える可能性のあるプログラムされたパラメータから離れた重要な変動を監視する温度および圧力監視モデルの両方が含まれます。さらに、リアルタイムの光学アライメントおよび検査ステーションにより、フォトレジストの正確な配置が正しく配置され、歩留まりと製品品質が向上します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高度な技術機器であり、さまざまなフォトレジスト加工システムの一部として、または独自に使用することができます。高精度、高精度、安全性、品質保証システムと相まって、半導体ウェーハの製造において高い評価を得ています。また、非常に使いやすく、メンテナンスも容易で、半導体設備への信頼性の高い効率的なフォトレジスト塗布プロセスを提供します。
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