中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293765195 を販売中

ID: 293765195
ヴィンテージ: 2000
(1) Coater / (2) Developer system Interface module Temperature and Humidity Controller (THC) Chemical cabinet No power box 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、フォトレジスト技術のリーディングカンパニーです。半導体デバイス製造者向けの高度なフォトレジストソリューションを提供します。この技術は、シリコンウェーハなどの基板材料に必要な設計パターンを正確に実現するために使用されます。TEL Clean Track Mark 7にはユニークなマスクアライナー装置が搭載されており、リソグラフィーマスクと基板の間に正確かつ再現可能なアライメントを提供します。これは、レーザー、回折ビームスプリッター、および2台のカメラを使用した高度な光学アライメントシステムを使用して行われ、マスクと基板のアライメントとフォトレジストのレーザーへの露出を検出します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高強度の紫外線光源と修正された光学ユニットを使用してフォトレジストをマスクアライナーに正確に露出させる独自の露光機能を備えています。また、高精度アプリケーターを使用して基板にフォトレジスト材料を正確に適用する最上位コーティング機を使用しています。このツールは、露光時間を最小限に抑え、無駄を減らし、フォトレジストの均一なコーティングを保証するように設計されています。クリーントラックマーク7は、高精度な基板と高精度なパターンを実現するように設計されています。あらかじめ設定された精度範囲内でプロセスパラメータを維持する特殊な制御アセットなど、高度な制御技術を備えています。高精度なリソグラフィ結果を実現し、より高密度な露光と優れたカバレッジを実現します。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、他の生産システムと統合することで、より幅広いプロセス能力を得ることができます。コンピュータ化されたインタフェース機器を搭載しており、さまざまなソフトウェアプログラムで使用することができます。これにより、システムは独立して、または他の互換技術と連携して機能することができます。TEL Clean Track Mark 7は、高品質のコンポーネントから構成されており、デバイス製造ニーズに信頼性の高い高性能ツールを提供します。それは長期使用のために設計され、最低の維持を要求します。このユニットは、優れた解像度を提供し、他の技術よりも高い精度で高精度なパターンを生成することができます。
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