中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746066 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、集積回路（IC）のメーカーが複雑な構造物を微細かつ正確に処理できるフォトレジスト機器です。このシステムは、プレパターニングマスキングを必要とせずに、高精度で信頼性の高い酸化スズ構造を生成することができます。TEL Clean Track Mark 7は、特許取得済みのOptra Beamプロファイル技術を使用して、基板とフォトレジストプロファイルに合わせてビーム形状と電力密度を正確に調整し、所望の処理目標を達成します。ビーム形状と電力密度をリアルタイムで監視・調整できるため、複雑な形状や特徴を持つ高精度で効果的な加工が可能です。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、最先端のイメージング技術とレーザー制御技術を採用し、シャドウやフレア効果を排除した照射ユニットを改良しました。レーザースポットサイズとパワー密度を正確に制御することで、フィルムの重なりを低減し、最終結果の精度を向上させます。クリーントラックマーク7と組み合わせて使用されるフォトレジスト層は、熱的に安定し、非常に低い電気抵抗を有するように設計されています。これにより、アスペクト比の高い極めて薄い（幅1〜2ミクロン）構造と、非常に細い線幅と狭いアルミニウム相互接続を実現します。アセットを使用すると、プロセスウィンドウを継続的に調整でき、画像解像度や重要なフィーチャーの高さなどの正確な処理基準とパフォーマンス基準を定義できます。さらに、ステップとリピートアルゴリズムを有効にし、複数の基板上のICを高精度に複製することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、IC製造などの精度と精度を必要とするアプリケーションに最適な、パワフルで信頼性の高いフォトレジストモデルです。高度な光学技術、イメージング技術、レーザー制御技術により、高精度で柔軟な処理が可能になり、複雑な基板でも完璧な結果が得られます。