中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746065 を販売中
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ID: 293746065
ウェーハサイズ: 8"
(2) Developer systems, 8"
Wafer flow: Left to right
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、半導体製造のスタンダードおよびアドバンストパターニングソリューション用に設計されたフォトレジスト装置です。産業、学術、研究施設に対応し、統合されたプロセスと高度な機能を提供する高度に構成可能なシステムです。TEL Clean Track Mark 7は、ミキサーユニットとユーザーインターフェースコントローラ、信頼性の高いメインモータを備えています。このメインモーターはディスペンスとステップユニットの両方に接続され、制御されます。混合ユニットは、化学成分と自動混合、攪拌、混合プロセスを混合します。これにより、レジストがフィルムのすべての層に均質に分布することが保証されます。ユーザーインターフェースコントローラを使用すると、ボタンをタッチするか、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用して目的のディスペンスとステップ条件を選択できます。その後、データをリアルタイムで調整して、パターンを正確に制御し、アプリケーションに抵抗することができます。マシンの操作をさらに簡素化する機能は、組み込みのレシピエディタ(GUI経由でもアクセス可能)です。これにより、レジストレシピ設定の簡単な作成、修正、および後退が可能になります。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7には自動化された膜厚制御ツールが搭載されており、高解像度パターンを確保するために重要な、さまざまな膜厚の正確な適用と特性を正確に制御できます。このアセットには、フィルムを残さずに取り外すための高度なクリーニングモジュールも備えています。クリーントラックマーク7には、安全換気や安全排気モデルなどの安全機能も内蔵されており、騒音のリスクを低減し、運転中にほとんどの微粒子が排出されます。装置はまたOSHA、セリウムおよびEPAのような国際的な企業の標準に、迎合的です。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は様々なソフトウェアやハードウェアと互換性があり、既存のラボや製造インフラに容易に統合できます。この柔軟性により、幅広い用途に最適なシステムです。
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