中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746064 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746064
ウェーハサイズ: 8"
(2) Developer systems, 8" Wafer flow: Right to left Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、表面処理に使用されるフォトレジスト装置です。フォトレジストを使用し、不要な素材を除去し、質感を高めることで均一な表面仕上げを実現しています。フォトレジストは光に敏感な化学物質で、表面に塗布することができます。光にさらされると、フォトレジストはその構造を変更し、不要な材料を除去する過程で補助します。それはそれが除去する材料に結合することを可能にする本質的な化学構造のために不要な材料を確実に取り除くことができます。TELクリーントラックマーク7は、光源、照射ステージ、レジスト除去ステージの3つの要素で構成されています。光源は、フォトレジスト用途に最適な特定の波長で光を放出します。この光は、光にさらされるようにフォトレジストを配置する照射段階を通過します。最後に、レジスト除去ステージは、表面から不要な材料を効果的かつ効率的に除去するために攪拌剤と洗浄剤の組み合わせを使用しています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、フォトレジスト加工に最適な幅広い機能を備えています。このユニットは高効率であり、広い領域を迅速に処理する能力を持っています。それに別の厚さおよび密度の材料が効果的に処理することができるように調節可能な変数があります。また、均一な表面構造を維持することができ、高精度な結果を出すことができます。さらに、光源にはWLCDツールがあり、フォトレジストの最適な露出と一貫性を確保するために、光源のずれを認識することができます。全体として、Clean Track Mark 7は信頼性が高く効率的な資産であり、幅広いフォトレジスト用途で高品質の表面仕上げを行うことができます。その安全設計、調整可能なパラメータ、および高度な光モニタリング機能は、プロセスが正確で効率的であることを保証するのに役立ちます。
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