中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746062 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746062
ウェーハサイズ: 8"
(3) Developer systems, 8" Wafer flow: Right to left Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、TEL Limitedが開発したフォトレジスト機器のモデルです。露光ユニット(FUJI EL-CT7)、開発ユニット(FUJI Dv2-CT7)、コーティングユニット(FUJI Alt-CT7)で構成されるフォトマスク加工用の完全自動生産工具セットです。高精度で再現性のあるフォトマスクを製造するように設計されており、クリーンルーム用途に適しています。FUJI EL-CT7露光ユニットは、高解像度イメージング用の最先端レーザーダイオードアレイを搭載し、デジタル測定・調整機能を統合・調整し、信頼性の高い性能でフォトマスクの高精度露光を実現しています。さらに、均一なフォトレジストコーティングを保証するために、デュアルノズルスプレーヤーと可変温度制御システムが装備されています。FUJI Dv2-CT7開発ユニットは、開発プロセスを担当し、制御された均一な開発プロセスを提供するために、選択的に可変的な攪拌ユニットと特別なノズル形状を備えています。さらに、フォトマスクの包括的な検査を行うことができ、さまざまな種類のフォトレジストで使用することができます。さらに、FUJI Alt-CT7コーティングユニットは、多層プリコートとポストコートの高度な技術を提供し、幅広いレジストの組み合わせを提供しています。技術的に高度なコンポーネントとは別に、TEL Clean Track Mark 7はクリーンルームのアプリケーションに優れた安全機能を提供します。温度変化やガス濃度などの潜在的な危険を検出するために、さまざまなセンサーを備えた自動安全制御装置を備えています。さらに、運転中の潜在的な危険から人員を保護するための統合安全スイッチとアラームシステムも装備されています。結論として、TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、安全性と生産技術の最高レベルで設計された高度で自動化されたフォトレジストツールです。高解像度のイメージング、高度なプレコートおよびポストコート技術、自動化された安全管理資産により、クリーンルームのアプリケーションに最適なツールです。
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