中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746058 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、TEL Ltd。が開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、機械オペレータが高密度集積回路（HDIC）および高アスペクト比（HAR）デバイスの精密処理および修復に使用するように設計されています。この高度なフォトレジストユニットは、基板の損傷を軽減するように設計されており、敏感なデバイスの変更に使用すると、リソグラフィのような精度を提供します。この機械は、蒸着ステーション、パターン工学ステーション、および評価ステーションで構成されています。蒸着ステーションは、高精度の基板上のフォトレジスト材料の蒸着を可能にします。パターンエンジニアリングステーションは基板上に高精度なパターンを作成することができ、評価ステーションはas-depositedパターンの評価を可能にします。TEL Clean Track Mark 7フォトレジストツールは、特許取得済みのコーティングプロセスを使用し、独自の前処理ステージを備えています。この段階で、基質は酸素ベースのプラズマで処理され、汚染物質や酸化層を除去し、堆積フォトレジストの品質を低下させることができます。前処理段階はまた、フォトレジストの基板への効率的な接着を保証します。フォトレジストのアセットには、デジタルイメージセンサー、高精度の光学レンズ、独自の画像処理アルゴリズムを含む高品質のイメージングモデルもあります。この装置は、最先端の技術を使用してイメージングプロセスの高解像度を提供し、パターン形成の正確な制御を可能にします。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7フォトレジストシステムには、パターン補正技術が自動化されており、レジストパターンのサイズ、形状、向きを調整できます。この特徴は堅い許容および高い収穫を達成できる非常に精密なパターンの生産を可能にします。さらに、このフォトレジストユニットには、フォトレジストの粒子汚染を低減するためのパーティクル除去機が装備されています。このツールは、フォトレジストアセットをクリーンに保ち、高精度のレジストパターンを形成するのに役立ちます。要約すると、Clean Track Mark 7フォトレジストモデルは、HDICおよびHARデバイスの処理と修復のための高度なソリューションです。特許取得済みのコーティングプロセスと自動化されたパターン補正技術により、正確で正確なレジストパターンの形成が可能になり、画像処理装置とパーティクル除去システムが清潔さと正確さを保証します。