中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746057 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746057
ウェーハサイズ: 8"
(2) Coater / (2) Developer systems, 8" Wafer flow: Left to right IFB Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、電子回路やデバイスのナノ加工に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、強力な紫外線光源を使用して、基板材料の特定の領域を選択的に照らします。この露出領域にはフォトレジストの層がコーティングされており、基板の基材や層をさらなる露出から保護する絶縁層を提供します。その後、ユニットを使用してフォトレジスト層の露出領域をエッチングして、さらなる処理に必要なパターンを作成できます。TELクリーントラックマーク7の光源は、約365nm〜395nmのスペクトル波長のUV光を生成するプラズマ燃焼炭化ケイ素セラミックランプです。これにより、フォトリソグラフィ動作の精度が向上します。光源は様々な角度から基板に向けることができ、設計プロセスをより大きな制御することができます。フォトリソグラフィーマシンには、基板と光源の間に配置されたマスクも含まれています。基材に適用するパターンが含まれています。マスクは、ツールの不可欠なコンポーネントであり、異なる基板上の異なるパターンを可能にするために簡単に変更することができます。「光源」と「マスク」に加えて「、東京エレクトロン・クリーン・トラック・マーク7フォトリソグラフィ・アセット」には、モデルを制御し、希望するパターンを作成するためのソフトウェアパッケージも含まれています。また、フォトリソグラフィ操作のリアルタイムの監視とフィードバックを可能にし、プロセスをはるかに信頼性が高く、欠陥やエラーが発生しやすくなります。クリーントラックマーク7は、複雑な電子回路やデバイスの作成に使用される強力で洗練されたフォトレジスト機器です。その強力な光源、露出角度を制御する能力、マスクを素早く簡単に操作する能力は、ナノ加工プロセスの精度と精度を確保するのに役立ち、非常に小さく複雑な設計を作成することができます。ソフトウェアパッケージは、エラーと欠陥が迅速に特定され、排除されることを保証するのにも役立ちます。要するに、ナノ加工には欠かせないツールです。
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