中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293656062 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高精度、高精度、清浄度で優れた結果を生み出すために設計された先進的なフォトレジスト機器です。対象レーザー、高度な液体クロマトグラフィー（LC）、レーザーキャビテーションプロセスを組み合わせて、幅広い基板上で非常に正確なパターンを作成します。液体クロマトグラフィーは溶媒と分散剤の溶媒を使用して、レーザーキャビテーションの前に表面をきれいにして準備し、レーザーターゲット領域に完全にきれいな環境を作り出します。レーザーキャビテーションプロセスは、TEL Clean Track Mark 7ユニットの主成分です。レーザー光学アセンブリは基質に向けられ、目的の窓は望まれる厳密なパターンサイズおよび形を与えるように調節されます。その後、焦点を当てたレーザービームを基板上に移動させ、紫外線のバーストを急速なバーストで放出します。これは、基板上のフォトレジスト被膜内での反応を引き起こし、その結果、標的パターンが生じます。このプロセスは、他のフォトリソグラフィとは異なり、溶媒のない乾燥プロセスが採用されている点でユニークです。溶剤を管理する必要はなく、溶剤流出による汚染の可能性を排除します。溶剤で基板を準備したり濡らしたりする必要がないため、基板表面の濡れは限界ではなく、精度、精度、全体的な結果が大幅に改善されています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、プロセス制御用のクローズドループ機も提供しています。入出力ツールを内蔵したオンボードコンピュータを搭載しているため、即時のプロセスパラメータだけでなく、履歴データにも幅広くアクセスできます。基板に影響を与えることなく、プロセスへのリアルタイムのフィードバックと調整を可能にします。Clean Track Mark 7は、大量貯蔵、半導体、医療、家電などのさまざまな業界に適しています。その精度、精度、清潔さのために、より高い収率、より良い収率、より高い再現性、より正確なデータがあります。乾燥プロセスであるため、環境問題の必要性を最小限に抑え、コストを削減します。