中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293638993 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293638993
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Baking system, 8"
Wafer flow: Right to left
Silicon wafer
Process-1:
FC-9801 F NEC Controller
Stage / Indexer: Open CSB / Cassette stage block
Cassette Block Robotics Arm (CRA)
Process-2:
Process Block Robotics Arm (PRA)
(6) DHP
(9) LHP
(5) CPL
Power transformer
SHINWA Temperature and Humidity Controller (THC)
UPS
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Missing parts:
Main arm Y-motor
Main arm Z-motor driver
1995 vintage.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、優れた画像品質、生産性、およびクラス最高のプロセス制御を幅広い用途に提供するために設計されたフォトレジストシステムです。このシステムは、開発/コーティングモジュール、イメージングモジュール、およびアライナー付きコンタクトステッパーの組み合わせです。開発/コーティングモジュールは、開発およびコーティングプロセスに優れた機能を提供するように設計されています。高度なバブルフリー技術を活用し、最高品質を確保しています。また、フィルムフロントと厚み調整制御を備えており、適切な膜厚を確保しています。さらに、このモジュールは、プロセスの再現性と均一性を確保するための速度調整を備えています。イメージングモジュールには、高度なレーザー干渉スキャン機能と、画像の最大解像度を確保するためのフルサイズのスキャンサーフェスが備わっています。さらに、イメージングモジュールは、精度と量産の両方に使用できます。また、ワンオフイメージ用の手動イメージセッタも備えています。アライナー付きコンタクトステッパーは、画像の一貫した登録のためのマスクの正確な位置を提供するように設計されています。ステッパーはまた、マスキング材料と表面の間の登録を正確に制御する高度なパターン認識制御を備えています。さらに、接触ステッパーにより、非常に正確な接触アライメントが可能になり、画像が基板に完全にアライメントされます。TEL Clean Track Mark 7は、優れた画像品質、生産性、およびクラス最高のプロセス制御を実現する最先端のフォトレジストシステムです。その高度な機能は、さまざまなプロセスで一貫性と品質管理を保証します。さらに、コンパクトなサイズとエネルギー効率の高い設計により、小さなスペースに簡単に収まることができます。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、幅広いイメージング用途に最適なソリューションです。
まだレビューはありません