中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293620432 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、半導体デバイスの自動開発に特化したフォトレジスト加工装置です。フォトレジストコーティング材を用いたウエハ表面の蒸着工程トコートを利用し、紫外線にさらされて所望のパターンを形成します。パターンは、エッチングによって開発され、ウェーハに転送されます。TEL Clean Track Mark 7ユニットは、エッチング用のデュアルレベルのスピントラックと真空機で構成されています。スピントラックには2つのチャンバーがあります。上部チャンバーはフォトレジストの堆積に使用され、下部チャンバーは材料の紫外線への露出に使用されます。真空ツールは、エッチングや作業面からフォトレジストを取り外すための真空圧力を提供します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7には、自動搬送資産、ダミー基板処理機構、拡張温度範囲制御、空気供給圧力制御、冷却制御、ウェハアライナー、統合欠陥監視モデルなど、さまざまな高度な機能が搭載されています。統合制御エレクトロニクスは高度に構成可能であり、ウェーハパラメータの設定、レシピ管理、生成歩留まり監視などの幅広い機能を提供します。この装置には、インターロックスイッチや温度センサーなど、人員を保護するためのさまざまな高度な安全機能も含まれています。最後に、Clean Track Mark 7は、さまざまなフォトレジスト材料をサポートし、プロセス効率を向上させるために設計されています。このシステムは、フォトレジスト処理の堆積、開発、エッチング段階の速度、精度、再現性を向上させることができる高度なオートメーションと制御も備えています。