中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293609900 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、高性能な半導体デバイスに精密なケミカルエッチングを施す最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、光感受性の有機材料を使用して、デバイス表面から材料の一部を選択的に除去し、その後の堆積と構造化のためのフォトレジストパターンを作成します。この高精度で一貫した技術には、特定の化学物質、光源、基板、および最先端の機械制御システムを使用する必要があります。TEL Clean Track Mark 7ユニットは、真空チャンバスパッタプロセスを使用して、半導体装置の表面に特殊コーティングを施し、化学エッチング応答を高めます。特殊なフォトレジストは、特定の光の波長にさらされる前に、デバイス上で回転されます。エッチング時の均一性を確保するためには、基板表面全体に均等に光を当てなければなりません。露光プロセス中、光はフォトレジスト材料の一部を選択的にエッチングして、望ましいパターンを作成します。露出プロセスが完了すると、残りのフォトレジストとスパッタコーティングの組み合わせは、デバイスの他の領域での不要なエッチングを防ぎ、クリーンで均一な蒸着を確保するための障壁を作り出します。エッチングプロセス全体が特殊な無電解浴で完了し、構造物の放電や熱損傷を防ぎます。プロセスの終わりに、デバイスは、回路設計に不可欠なモニター、コンタクト、ラインなどのユニークな機能でパターン化することができます。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7の精度と一貫性は、多くの先進的な半導体製造技術にとって貴重なツールです。さらに、このマシンは、重要なデバイス機能を妨げる可能性のある汚染物質に対する優れた保護機能を備えており、デバイスの故障または非機能性につながります。さらに、複雑なフォトレジストパターンを作成できるClean Track Mark 7ツールは、研究やプロトタイプアプリケーションにも最適です。