中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293589793 を販売中

ID: 293589793
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
(2) Coater system, 8" Process: AL-CH, PIQ 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7)は、回路基板、薄膜装置、ファインラインリソグラフィープロセスなどの先端技術の製造に適した高解像度プロセスウィンドウを製造するフォトレジスト装置です。これは、ユーザーが手動で介入することなく、さまざまなフォトポリマーとエポキシ抵抗材料を迅速に処理することを可能にする完全に自動化されたシングルトラックシステムです。このユニットは、高精度のステージ、高度な光学部品、および精密エッジ配置ツールを備えているため、今日利用可能な最も効率的で信頼性の高いフォトレジストシステムの1つです。CTM7のステージは6までの移動が可能です。また、高解像度ステージでは、最大400枚のマスクを一度に保持することができ、迅速かつ正確なマスク配置が可能です。高解像度ステージには、高精度サーボモータ、リニアベアリング、高解像度アブソリュートエンコーダがあり、高速動作時の追跡精度が向上します。また、CTM7は30x30x50 mmの大型開口部などの高度な光学部品を備えており、Schmeisser 10X光学アセンブリと高解像度の自動マスクアライメントマシンを組み合わせて、最終製品の正確なマスク配置と低公差を確保しています。また、CTM7には1。5ミクロンの最大層厚と0。1ミクロンの特徴幅を持つフォトレジスト鋳造ツールが組み込まれています。CTM7は汎用性と信頼性の高い資産で、低コストで高解像度のマスクを製造するのに適しています。直感的な操作ソフトウェアは、統合された仮想治具、自動化されたアセンブリ移動、および複数のレシピなどの迅速で簡単なモデル操作と高度な機能を提供します。CTM7はまた、正確なマスク配置と低い汚染レベルのためのクイックチェンジツールと精密エッジ配置ツールを備えています。また、高度なフォトリソグラフィープロセスのための様々なフォトポリマー、エポキシ、およびその他のレジスト材料を処理することができます。要するに、TEL Clean Track Mark 7は、高度な光学系、自動化されたマスクアライメント、および高精度で低コストの製造のための統合ソフトウェアを利用した高精度フォトレジスト機器です。このシステムは、回路基板、薄膜デバイス、およびその他のファインラインリソグラフィ製品の製造において可能な限り最良の結果を提供するために構築されています。
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