中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #130339 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、株式会社テルが開発したフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクスデバイスを製造するために設計された、完全に自動化された高性能なリソグラフィーシステムです。TELクリーントラックマーク7は、メインプロセッサと光学レンズの2つの主要コンポーネントで構成されています。メインプロセッサは、デジタルデータのデコード、リソグラフィ処理の制御、および結果の画像の品質の監視を担当します。光学レンズは、ミラー、プリズム、レンズからなる高精度の光学ユニットです。ウェーハ上のデザインをイメージし、ウェーハの表面にデザインを転送し、イメージエラーを低減する責任があります。リソグラフィープロセスには、極めて精度と精度が必要です。そのために、高精度レーザー干渉計、ビームステアリングミラー、高感度検出器など、さまざまな技術を駆使しています。レーザー干渉計は光学部品の位置の偏差を検出するために働きます、ビームステアリングミラー用具は設計がウェーハに正確にイメージされることを保障します。感度検出器は、反射光を検出し、光の強度を正確に測定するために使用される電気信号を出力する責任があります。Clean Track Mark 7には、高度な画像処理アルゴリズムを使用して画像エラーを低減する高解像度光接近補正（HROC）アセットも搭載しています。HROCモデルは、レジストシャドーイングやその他のイメージングアーティファクトを排除し、デバイスのパフォーマンス低下につながる可能性があります。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7には、様々なサイズや形状の基板に対応するように設計された高度な基板処理装置が搭載されています。基板処理システムは、温度、圧力、露光時間などのプロセスパラメータの制御も担当しています。TEL Clean Track Mark 7は、非常に高品質なマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するために設計された高度で高度なユニットです。高精度のレーザー干渉計、ビームステアリングミラー、高感度検出器を搭載した高度な画像処理と基板処理機能により、効率的で費用対効果の高いリソグラフィープロセスを実現します。