中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #9158032 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7/Mark 8は、半導体デバイスを製造する先進のステッパー技術を誇るフォトレジスト機器です。これは、シリコンウェーハに非常に詳細なパターンを転送することができる完全に自動化された精密リソグラフィーシステムです。Mark 7/8フォトレジストユニットは、大判スキャナや均一な周波数スキャンなどの機能を提供し、均一なイメージング、長波長露光、高速で優れたオーバーレイを可能にします。Mark 7/8は、高精度、高速、信頼性の高いクリーントラックステージを備えています。ダイレクトドライブサーボモータにより駆動される精密ステージを搭載し、ウェハ表面全体に均一な画像露出を可能にします。このマシンは、リニアエンコーダを内蔵しており、正確な位置フィードバックを提供し、外部レーザー干渉計やエンコーダの必要性を排除します。さらに、高度なトラッキングコントローラにより、バックグラウンドノイズレベルが低く、高速移動が容易になります。また、高解像度レンズとモーターで構成された光学ツールを搭載し、正確な位置決め制御により露光ビームの設置面積を正確に制御します。この機能により、フォトレジストの資産は、優れた焦点深度と一貫したパターニングで非常に高解像度のイメージングを生成することができます。さらに、光学サブシステムは、競合するフォトレジストシステムの性能を制限できる迷光やグレアの量を減らします。また、Mark 7/8はスペース効率を最大限に高めるために設計されており、既存または新しいワークショップスペースを最大限に活用できます。この要件を容易にするために、フォトレジストモデルは、合理化された堅牢でコンパクトなレイアウトと小さなフットプリントを備えており、適切なワークショップに最適化されています。全体として、TEL Clean Track Mark 7/Mark 8は、ワークスペースの効率を犠牲にすることなく、最高速度と精度で優れたイメージングを生成するように設計された信頼性の高いフォトレジスト機器です。高性能オプティクスとトラッキングサーボモータを備えたこのシステムは、過酷な作業環境での高度な半導体デバイスの作成に最適です。