中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #293656061 を販売中

TEL Clean Track Mark 7およびMark 8システムは、半導体集積回路の加工および製造に使用される高度なフォトレジストシステムです。このシステムはフォトレジスト処理を提供し、マイクロリソグラフィとポスト露出エッチングの両方をカバーします。マイクロリソグラフィーレベルでは、光は半導体デバイスの製造に使用されます。この光は、マスクパターンを作成するためにフォトレジスト層に向けられています。この装置は、高度な光学部品とソフトウェアを使用して、高性能リソグラフィに必要な分解能と光強度を正確に提供します。露出後のエッチングレベルでは、光にさらされたフォトレジスト層をパターンを形成するエッチングで処理します。フォトレジストは、DC酸素プラズマやO2反応エッチャーなどの高度な機器を使用して簡単に除去されます。Clean Track Mark 7およびMark 8システムは、高精度で低欠陥を実現するように設計されています。TOKYO ELECTRONの最新ユニットであるClean Track Mark 8システムは、Mark 7よりも高解像度です。また、超清浄のために空中微粒子脱気装置などの革新的な技術を使用しています。これにより、機械内の部品の損傷や劣化を防ぎ、スループットと製品品質を向上させます。Clean Track Mark 7およびMark 8システムは、フォトレジスト処理のための高度な制御およびオートメーションツールを備えています。ProSysWaferなどのソフトウェアコンポーネントを使用すると、ユーザーは任意の場所から生産プロセス全体をリモートで監視できます。さらに、このツールは統計的プロセス制御（SPC）オプションを提供し、フォトレジスト処理プロセスに関する貴重な洞察を提供します。また、生産工程での環境変化にも耐えられるよう設計されており、クリーンルーム、標準環境、真空など様々な生産環境での使用に適しています。また、自己診断、予防保全アラームなどのメンテナンス機能も備えています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7およびMark 8システムは、半導体製造における先進的なフォトレジスト加工オプションを提供します。このシステムには、高度な光学部品、ソフトウェア、エッチング技術が搭載されており、欠陥の少ない優れた解像度と精度を提供できます。さらに、この機器はオートメーションおよび制御ツールを備えており、厳しい生産環境で使用されている場合でも高い信頼性を備えています。