中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz #9302022 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vzは、半導体基板に集積回路をパターン化する最先端のフォトレジスト機器です。それは5V、 0。25ミクロンの設計と完全に互換性があり、最高レベルの歩留まりと性能のために設計されています。その高度な機能には、最適化されたトリプルパージアライメントシステム、デュアルモードグリッドアライナー、および統合された衝突防止ユニットが含まれます。トリプルパージアライメントマシンは、数ミクロン以内にアライメントマークを正確に登録することができます。これにより、ターゲット基板のシフトによるパターニング精度の損失を最小限に抑えることができます。微細なアライメント精度に加えて、デュアルモードグリッドアライナーは、3次元からのアライメントの高精度を提供します。この機能により、パターン全体の位置が所定の設計図面に従って正確に処理されます。このツールはまた、統合された衝突防止資産を備えています。多数の光学センサを使用することで、スキャン段と半導体基板の接触を防ぎます。さらに、2つのシステム間の接触が検出されると動作を停止し、基板の損傷を効果的に防ぐことができます。Mark 5Vzは、市場で最も先進的なフォトレジストモデルであり、最高速度と精度を提供します。その最適化された設計により、エラーを排除し、複雑さを軽減し、歩留まり率を向上させます。その衝突防止装置は、パターンが正しく生成され、基板に高価な損傷を防ぐのに役立ちます。これにより、現代の高精度集積回路の生産に理想的な選択肢となります。