中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198152 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5は、半導体産業における高度なリソグラフィーおよび製造プロセス向けに設計されたフォトレジスト機器です。HxP （High-X Movement Patterning）と呼ばれる独自のパターニング技術を使用して、均一で高解像度の結果を保証します。TEL Clean Track Mark 5は、最適化されたソフトタッチステッピングシステムを採用し、高密度、短線幅、高透明領域の高精度マスクを提供します。ステッピングユニットは、acousto-optic modulator （AOM）、 Objectives Lens Machine （OLS）、ステッピングステージ、偏光ステージなど、多くのコンポーネントで構成されています。AOMは高速かつ効率的なマスク加工を目的として設計されていますが、OLSはイメージングの精度と性能を向上させます。ステッピングステージは、プロセス実行中に安定した正確な動きを保証し、偏光ステージはステッピングツールのキャリブレーションを最適化することで全体的なパフォーマンスを向上させます。アセットのHxPプロセスには、フォトレジストパターニングの3段階の方法が組み込まれています。まず、最初の回路レイアウトがウェーハに刻印されます。次に、ウェーハを斜めにして、フィールド間の均一なギャップを作成し、次のステップで露出時間を最小限に抑えることができます。最後に、品質保証と精度のためのレーザースキャン技術を利用して、フォトマスク露出を実施します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5は、プロセス精度を最適化し、高アスペクト比と垂直構造の両方で均一で正確な結果を提供するスループットと精度のために設計されています。モデルは自動化されており、レシピベースのイメージングモードの最適化など、イメージング調整が組み込まれています。さらに、この機器はライブラリベースのデータベースを備えており、ユーザーは既知のレシピをすばやく簡単に検索できるようにします。高度な機能と正確なパターニングに加えて、Clean Track Mark 5も安全性を最優先に設計されています。独自の集塵システムを採用し、安全性を最大限に高め、クリーンルーム内の有害粒子の蓄積を防ぎます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5は高度なフォトレジストユニットで、ユーザーに精度と精度を提供し、安全性を向上させます。独自のHxPプロセスにより、均一で最適な結果が得られます。一方、自動機能とライブラリベースのデータベースにより、マシンはユーザーフレンドリーで効率的です。