中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198151 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5は最先端のフォトレジスト機器です。高精度が要求される産業用途向けに設計されています。その最も顕著な特徴は、多くの半導体生産プロセスにおいて極めて薄いフィルムや基板を扱う能力である。Mark 5は、優れた精度と均一性でフォトレジストの層を適用してエッチングするために使用できます。ファインチューニングされた光学系と高度な計算アルゴリズムを使用して、フォトレジストの正確な層を適用します。また、高度に洗練されたイメージングおよびモニタリングプロセスのためのユニークなイメージングシステムも備えています。フォトレジストプロセスに最適化された自動レシピサポートユニット（ARSS）を搭載しており、ジョブごとに最適化されたプロセスパラメータを使用できます。これは、すべてのピクセルの機器設定を厳密に制御する必要がある複雑なジョブに特に役立ちます。Mark 5には、基板交換を高速化するフロントエンドリフトマシンが内蔵されており、最大9インチの基板に対応できます。Mark 5には、ウェットエッチングやリソグラフィなど、さまざまなウェットプロセッシングオプションがあり、迅速かつ効率的なプロセス制御が可能です。さらに、Mark 5は多数の安全機能を備えています。蒸気露出を低減するダイナミックガスフローツールと、有害化学物質との接触を防ぐ光学的封止設計を備えています。また、IPインターロックの配列と不正アクセスから保護するための自動ロックフロントエントランスも含まれています。Mark 5は非常に汎用性の高い資産で、メーカーは高性能な製品を迅速かつ確実に提供できます。その高度な機能により、さまざまなフォトレジストベースのアプリケーションに最適です。その比類のない精度と信頼性により、Mark 5は産業用途にとって貴重なツールとなります。