中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404400 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、幅広いイメージングおよびデバイス製造アプリケーションにおいて、高度なリソグラフィープロセス用に設計された広範囲のフォトレジスト機器です。高度な顕微鏡イメージングシステムを採用し、マスク画像の鮮明でクリーンなレプリカを高解像度で実現しています。単波長のKrFエキシマレーザーソースを使用し、インコヒーレントイメージングオプティクスを組み合わせて、さまざまな深さとサイズの高解像度画像を実現します。フォトレジストは、等方性および異方性の固定成分の二重層です。等方性元素は優れた濡れを保証しますが、異方性は浸漬投影がプロセス中に良好な分解能を維持することを保証します。TEL Clean Track Lithiusは、革新的なパターン設計プロセスを使用して、パターンのオフセットエラーを低減します。このマシンには、高速およびフルフィールドスキャン、垂直および水平ブレークスキャン、マルチスライスまたは統合フィールドスキャンのオプションが含まれています。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusツールは、画像処理における非線形による歪みを低減する自己適応補償機能も備えています。アセットの適用プロセスは、パターンごとにマスク画像を作成するプロセスであるフォトマスキングから始まります。この画像はフォトレジスト層に転送され、基板上に設定されます。光は光にさらされた領域を減らし、マスク上のパターンを作成するために使用されます。フォトレジスト層を露出した後、フォトレジストの基材への接着性を高めるために強化液の層が適用されます。最後に、紫外線の強烈なレベルを含む硬化プロセスが構造を完了するために使用されます。全体として、Clean Track Lithiusは、高精度で信頼性の高いリソグラフィとデバイス製造を可能にする幅広い機能を提供します。高度なイメージングモデル、パターン設計プロセス、自己適応補償機能により、高精度でクリーンな結果を得ることができます。この機器は、包括的で高品質のフォトレジストシステムをお探しの方に最適です。