中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404399 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、集積回路装置の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体材料のウェーハ上に細長い精密な特徴を正確にリソグラフィーパターン化することを可能にします。この技術により、高分解能回路パターンをクリティカルな寸法で正確に配信することができます。このユニットは、ステッパー/スキャナ、フォトレジストトラック/モジュール、ウェットベンチモジュールの3つの主要コンポーネントで構成されています。ステッパー/スキャナは、正確にウェーハに向けられた正確な光源を提供し、光源の正しい位置を確保します。フォトレジストトラック/モジュールは、ウェーハ上に回路パターンを作成するために使用されるフォトレジスト液体の適用を制御します。この材料は指定された厚さで加えられ、特徴パターンの正確さを保障するために厳密な変数に合致しなければなりません。最後に、ウェットベンチモジュールは、フォトレジスト、エッチング、その他のプロセスの硬化によってウェハの化学処理を処理します。ウェーハ上で最も正確なパターンを達成するためには、機械を適切に校正する必要があります。ステッパー/スキャナは、最適なパフォーマンスを確保するために、すべてのコンポーネントがフォルトチェックされた状態で、高度かつ適切に調整されている必要があります。フォトレジストトラック/モジュールは、フォトレジストアプリケーションの均一性に悪影響を及ぼす汚染物質を含まない、きれいに保たなければなりません。最後に、ウェットベンチモジュールは最適な状態に保たれ、すべてのタンクとパイプがビルドアップから解放され、すべての化学物質が適切に保管および監視されていることを確認する必要があります。要するに、TEL Clean Track Lithiusは、可能な限り最高の精度で高解像度の回路パターンを正確に提供できる3インワンツールです。この資産は、生成されたパターンの精度を確保するために、高度なメンテナンスと適切な校正が必要です。