中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9397044 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、独自のTEL Clean Track Lithius技術とディスクリートコンダクター形成プロセスを組み合わせることで、幅が狭く、周波数特性に優れたトレース層のボイドフリー形成を可能にするフォトレジスト装置です。このシステムは、軽量かつ低振動のワイヤ・プーラーを使用して、基板段の超精密な線形輸送を提供します。まず、TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusを使用する前に、基板にフォトレジスト層を塗布し、紫外線にさらされます。これにより、フォトレジスト層を選択的に硬化させ、パターンを必要に応じて作成することができます。その後、次のステップでは、パターン化されたフォトレジスト層の開発が行われ、基盤となる金属基板が露出します。開発されたフォトレジスト層は保護マスクとして機能し、金属が塗布されている場所のエッチングを防ぎます。その後、プラズマベースのエッチングユニットを使用して金属エッチングを行い、金属表面を塩素や窒素などのガスにさらします。プラズマとエッチングガスは、金属の反応種と反応するエネルギーイオンを効率的に放出し、揮発性イオンクラスターを形成し、金属を急速にエッチングします。最後のプロセスは、エッチングされた金属層の表面に絶縁材料の薄い、コンフォーマルな層を堆積させることです。この絶縁材は電気的に耐性があり、優れた電気性能を確保するために電気絶縁材に使用されます。それはまた感受性の開発を防ぎ、騒音を除去します。フォトレジスト、プラズマエッチング、絶縁蒸着によるパターニングの組み合わせにより、Clean Track Lithiusは優れた電気性能でミクロンスケールのトレース層パターンを生成できます。現在では、通信システムの小型化や高密度相互接続など、様々なエレクトロニクスやフォトニクス分野で広く使用されています。