中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9375513 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、半導体・電子機器製造向けのフォトレジスト機器です。ウエハーなどの基材にフォトポリマーのフォトレジスト層やパターン層を堆積させる高度なレジストプロセスを採用しています。Lithiusユニットは、フォトレジスト蒸着の正確なアライメントと均一性が最優先されている要求の厳しい半導体プロセスで使用するための魅力的な選択肢となる多くの機能を備えています。マシンの正面露出チャンバーは、全体の幅に沿って均一で制御されたレジスト露出を提供し、ウェーハ全体に沿った高品質のパターンを提供します。プロジェクションオプティクスを使用することで、レジストイメージングがウェーハの中心から端まで一貫しており、表面を均一に移動し、パターンが見逃されたり、ずれたりすることはありません。優れた光学性能に加えて、Lithiusツールの他の主要な要素は、その高度なレジスト処理です。オートフォーカス制御や3点アライメントなどの機能を備えており、すべての接点が清潔で正確な蒸着とパターニングのための位置に配置されています。使用される3点アライメント技術は、正しい量のレジストが適用され、コーティングが均一で均一であることを保証します。さらに、TEL Clean Track Lithiusには、統合された安全機能とオプションが備わっています。これには、アクティブおよびパッシブESD保護、静的中和機能、および大気監視装置が含まれます。これらの機能は、プロセス全体でユーザーとコンポーネントの安全性を確保するのに役立ちます。これらの機能はすべて、TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusアセットのユーザーに最小限の努力で高精度で一貫した結果を提供するために連携しています。その優れた性能と安全機能により、半導体業界で要求の厳しい高精度フォトレジストプロセスに適したモデルとなっています。