中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9351008 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、精密製造プロセスの向上を目的としたフォトレジスト装置です。新しい化学式と特殊な光学リソグラフィーシステムを組み合わせ、高度なフォトレジスト層を備えた超微細な精密パターンを作成します。この高度なユニットは、最小の電子部品およびチップ製造プロセスでの精密フォトリソグラフィを可能にするように設計されています。TELが開発したフォトレジストマシンは、超微細パターンで最高レベルの精度を得るために最適化された特注感光材料を採用しています。特別に配合された材料は、フォトレジスト層の顕微鏡成分間のクロストークまたは干渉の可能性を排除するように設計されています。さらに、光学リソグラフィーツールのコンポーネントは、従来のシステムで達成できるものよりも大幅に小さい精密パターン、ライン、およびドリルを生成することができます。このフォトレジストモデルの光学リソグラフィ資産は、短波長（紫外線）レーザーを使用した自家製のプログレッシブスキャン露光装置を利用しています。スキャン露出システムは、優れた精度で幅広いパターンを作成することができます。短い波長レーザーを使用することで、指定されたマクロ部品よりも小さい構造設計レベルでパターンを作成することも可能です。TEL Clean Track Lithiusのイメージング性能は、多くの競合他社よりも優れています。より広い露光領域にわたってより高い解像度のパターンを作成することができます。このユニットは、ユーザーがカスタムパターニングに選択できる幅広いフォトレジスト化学製品も提供しています。この機械で使用されるすべての部品は均一な鋭く、きれいなパターンを提供するために相乗効果で協力するように設計されています。最後に、フォトレジストツールで使用される化学式は、表面欠陥を低減し、斜めの製品表面の信頼性を向上させるために最適化されています。この資産によって提供される最終製品は非常に信頼性が高く弾力性があり、幅広い用途での使用に適しています。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusフォトレジストモデルは、優れた精度と最小限の欠陥を持つ超微細パターンを製造する信頼性の高い精密な方法を提供します。