中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9329259 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、半導体産業の機器メーカーであるTELが開発した先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジスト層に精密で高解像度のパターンを提供するように設計されており、半導体製造アプリケーションでの使用に適しています。ユニットは、フォトレジスト材料を基板に薄く均一な層に塗布するスピンコーティング手順から始まります。これは、表面がフォトレジスト材料で十分に覆われていることを保証し、また、材料の均一な薄膜を作成します。スピンコーティング後、フォトレジスト層は希望のパターンを作成するために光源にさらされます。光の波長とフォトレジストの特性に応じて、このプロセスは選択的にパターンの領域でフォトレジストを削除またはクロスリンクすることができます。次のステップでは、TEL Clean Track Lithiusマシンのパターニングツールを使用して、フォトレジスト表面のパターンを正確にマークします。このステップで使用されるツールは高精度であり、他の同等のシステムよりも小さい公差を達成することができます。これは、高精度と品質管理を必要とする製造アプリケーションにとって特に重要です。パターニングプロセスの後、フォトレジストは、基板上に必要な回路または集積回路を形成するために開発され、エッチングされます。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusツールは、最終回路の品質を検証するために使用される、開発後の検査ステップも提供します。これは、必要な美的および性能基準が満たされていることを確認するのに役立ちます。全体として、Clean Track Lithiusは、半導体製造アプリケーション向けのフォトレジストパターニングを作成するための強力で信頼性の高い資産です。デザインをインプリントする際の高精度、パターニングプロセスの優れた制御、完成品の品質を確認するための追加の検証層を提供します。その使用を通じて、メーカーは、精度、信頼性と品質の優れたレベルの部品を生産することができます。