中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9294230 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、先進的なリソグラフィ制作用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。200nmから40µmまでの基板において、堅牢な性能と信頼性を提供します。ウエハ全体に均一なレジストをコーティングする高度なコーティング技術を特長としています。また、優れた処理層の形成と、重要な機能に最適なファインレジストの詳細を提供します。このユニットの自動化された機械設計は、レジストディスペンスレートを正確に制御し、長時間にわたって高速なプロセスランプアップと安定した動作を可能にします。単一の露出源は、高エネルギーから低エネルギーまで、多目的な形状と4つのソース電力を提供し、より高いプロセス歩留まりとデバイス性能の向上を保証します。TEL Clean Track Lithiusには、効率的なプロセス統合を保証するさまざまなツールとオプションが装備されています。埋め込み欠陥検査ツール（EDI）は、表面および埋め込み欠陥を検出し、レジストにマークされます。この高速リアルタイム検査は、欠陥のない基板を保証するように設計されています。また、ウェーハ設計の信頼性を高めるプロセス条件を適応させるための詳細情報を提供する最先端の診断機能も備えています。また、高度なプラズマエッチング技術により、レジストフィルムのダイレクトパターニング用の統合エッチングステーションも提供しています。オペレータは、メインコントロールパネルから直接統合エッチングツールにアクセスすることができ、両方のプロセスを同じウエハカセットで簡単に実行できます。このエッチングソリューション機能は、汚染レベルが低く、取り扱いが簡単で、ウェーハの回転時間も高速です。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、高度なリソグラフィ生産のためのオールインワンプラットフォームを提供し、歩留まりの向上、信頼性の向上、スループットの高速化を実現します。伝統的で革新的な機能を備えたClean Track Lithiusは、重要なリソグラフィ用途向けの高性能ソリューションを提供します。