中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275998 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track高精度半導体加工に使用されるフォトレジスト装置です。このシステムは、フォトレジストと呼ばれる光感受性材料、精密クリーニングユニット、およびウェーハの正確な位置を決定するための追跡装置で構成されています。フォトレジストツールは、正確で一貫したサイズと形状の電気部品を作成するのに役立ちます。このアセットは、UVレーザーを使用して、ウェーハ表面に適用されるフォトレジスト材料を照射します。このプロセスは、レーザー露光強度に基づいて材料の化学構造を変更します。生成された画像は、元の素材をエッチングするためのテンプレートとして使用されます。このモデルには、レーザー露出プロセス後に基板に付着したままになる可能性のあるフォトレジストを除去する洗浄装置も含まれています。この洗浄システムは、誘電体の残留物が再配置されるのを防ぎ、その後の回路のパターン形成にも影響を与えます。TELクリーントラックリチウスユニットは高精度リソグラフィ用に設計されており、大量の半導体製造に最適です。このマシンは、高解像度と改善されたコントラストで高精細画像を取得します。また、正確かつ一貫した半導体生産に必要な再現性のある結果も提供します。トラッキングツールは、ウェーハの正確な位置決めを支援します。また、ウェーハアライメント用のビームへのフィードバックや、レーザー露出時の自動フォーカスコントロールも提供します。これにより、外部環境に関係なくウェーハの正確な位置が保持されます。この複合モデルは、半導体生産に高い再現性と精度を提供します。精密なレーザー照射、効率的な洗浄装置、正確な追跡が、東京エレクトロンクリーントラックリチウスの成功の鍵となります。このシステムは、半導体生産のための効率的で信頼性の高いフォトレジストユニットであることが証明されています。