中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275996 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、ウェーハ上の微細エッチングパターンを製造する半導体業界で使用されるフォトレジスト機器です。これは、市場で入手可能な最も先進的なフォトレジスト技術の1つです。このシステムは、複雑な光制御とパターニング機構を利用して、ウェーハ表面の正確なエッチングを可能にします。最初のステップは、ウェーハ表面にポジティブトーンのフォトレジストの薄い層を適用することです。フォトレジストは高輝度のUV光源にさらされ、希望するパターンに応じてフォトレジストの露出を選択的に変調します。このパターンは、ウェーハの表面に転送され、エッチング処理の準備ができています。TEL Clean Track Lithiusユニットには、レーザーLDI（レーザーダイレクトイメージング）光学系、8チャンネルのステッピングモーションコントロール、フォトレジストの均一な露出のための高速フィードバックマシンなどの洗練された照明制御機能が搭載されています。ユーザーは、必要に応じて接触露出オプションに切り替えることもできます。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusが採用した高度なフォトレジスト技術は、複数のフォトレジスト除去プロセスにも適しています。これにより、ウェーハ上に複数の微細なエッチングの詳細を同時にインプリントすることができます。アセットには様々なフォトレジストを取り揃えており、よりオーダーメイドのエッチングパターンを実現しています。Clean Track Lithiusフォトレジストモデルは、効率的で正確で規制の整ったエッチングプロセスを求めている半導体メーカーにとって優れた選択肢です。その洗練された機能、ユーザーフレンドリーな操作、および信頼性により、多くの業界のフォトレジスト機器に適しています。