中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275995 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、高精度の電子部品やその他の半導体デバイスを産業規模で製造するために設計された高度フォトリソグラフィ装置です。このシステムは、最適化されたフォトレジストプロセスを使用して、市場で入手可能な最高精度の超高速クリーンカットデバイスパターンを生成します。フォトリソグラフィーユニットは、光源、パターンマスク、レンズ、ウェーハ受信ポイント、フォトレジスト層で構成されています。光源、通常はDUVレーザーは、所望のデザインパターンを含むパターンマスクを通して投影され、レンズを介してウェーハの受信ポイントに向けられます。感光材で構成されたフォトレジスト層をウェーハの受信ポイントに貼り付け、マスクからパターンにさらします。光にさらされると、フォトレジスト層は、マスクから放射される光への曝露により、その物理的および化学的性質が変化します。光の強度に応じて、フォトレジストは非常に正確なパターンでウェーハの表面を蒸発または被覆します。光は、フォトレジストの物理的および化学的反応の触媒として機能し、目的の成分を作成するために必要な正確なパターンを可能にします。TEL Clean Track Lithiusは、フォトレジストプロセスを支援するさまざまな機能を提供します。内部制御装置は、光の露出が最適であることを保証し、独自の多機能プラットフォームにより、さまざまなパターン操作を可能にします。さらに、フォトレジストパターニングプロセスは、電気ノイズを除去し、リソグラフィーツールの混乱を防ぐアンチグリッチフィルターを使用することで保護することができます。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、高精度の電子部品や半導体デバイスを製造するための信頼性と効率性を提供します。その最適化されたフォトレジストプロセスは、最高精度のクリーンカットパターンを生成し、プラットフォームは、高品質の結果を確保するための高度な保護および制御メカニズムを備えています。特徴の組合せによって、Clean Track Lithiusはあらゆる産業スケールの部品の製造業のための完全な選択です。