中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9269264 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、大規模集積回路(LSIC)製造などのプロセスにおいて、高精度なリソグラフィ生産を実現するフォトレジスト機器です。このシステムは、優れたパフォーマンスとコスト削減を提供し、汚染のリスクを低減します。TEL Clean Track Lithiusの主な特長は、高解像度イメージング、正確なオーバーレイ登録のための自動マスクアライナー、露出マスクを安全に配送する専用ユニット、最適化されたイメージングのための高度なビームスキャナ、汚染の可能性を低減する超高性能クリーニングユニットなどです。高解像度イメージング機能は、0。5ミクロンの解像度を提供し、最終的な画像がプロセスで使用されるマスクを正確に反映することを保証します。自動化されたマスクアライナーは、ターゲット回路へのマスクの正確な登録を提供するように設計されており、高度なリソグラフィを実行することができます。専用ユニットは、露出されたマスクの安全な配送を保証するように設計されており、不要な材料がプロセスで転送されないようにしています。最先端のビームスキャナは最適な画像処理性能を実現し、超高出力洗浄機は汚染の可能性を低減します。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、幅広いリソグラフィ用途で信頼性と効率の高い製造プロセスを提供するよう設計されています。このツールは、高解像度の画像を生成し、ターゲット基板に直接露出する機能により、プロセスが品質の結果をもたらすことを保証します。さらに、高度なビームスキャナ、自動化されたマスクアライナー、および専用の安全ユニットがすべて協力して、安全で正確なリソグラフィ生産を提供します。
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