中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9267952 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、さまざまな用途に適した強力な自動フォトレジスト装置です。このシステムは、高性能で効率的なフォトレジストプロセス制御と柔軟な基板ローディング/アンローディングオプションを備えています。それはバッチサイズの生産で経済的で、顕著な結果を提供します。トップパフォーマンスを確保するために、このユニットは自動洗浄および乾燥プロセスを提供し、最高の結果と効率を保証します。ロボット制御のカセットローダーを搭載し、最大20個のウェーハを一度に正確にロード/アンロードできます。このツールはまた、高度なインラインコーティングとベーキング技術を利用して、必要な手動工程の数を減らします。さらに、洗練された欠陥検出と自動チューニング機能を備えています。このアセットは最大6つのスピンコーターを使用しており、さまざまなフォトレジスト処理を提供します。これらのオプションには、単層、両面、20 ± 1 umギャップ充填、残留膜厚測定、およびドライコーティング制御が含まれます。スピンコーターには業界標準のイメージヘッダも含まれており、最小限のデッドボリュームと表面欠陥の発生を最小限に抑えるように設計されています。さらに、TEL Clean Track Lithiusモデルは、高度なパターン分解能を必要とするアプリケーションに最適で、優れた機能制御機能と均一な基板配送を備えています。高い安定性と再現性により、効率的なバッチサイズの生産とさらなるコスト削減が可能です。また、グラフィカルユーザーインターフェイスを介して生産プロセスを管理する統合ソフトウェアソリューションも提供しています。統合されたソフトウェアは、手動による介入を最小限に抑え、プロセスフローの管理を支援する内部データベースを備えています。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、さまざまな用途に最適なフォトレジストシステムソリューションです。優れたプロセス時間制御、優れた機能制御機能、優れた欠陥検出精度を提供します。さらに、統合ソフトウェアソリューションは生産プロセスを合理化し、高い歩留まりと再現性を保証します。