中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9243664 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、半導体製造プロセスのファブ効率を促進するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。フォトレジストサイクルの各ステップのリソグラフィを支援し、各プロセスのカスタマイズを可能にする独自の強力なツールを提供しています。このシステムは製造プロセスを合理化し、品質を損なうことなくサイクルタイムを短縮し、より高い歩留まりの結果をもたらします。TEL Clean Track Lithiusユニットは、フォトレジストサイクルを正確に制御し、各ステージでシームレスなリソグラフィープロセスを可能にします。その自動フィルム厚さ測定（FTM）機能は、フォトレジストフィルムがフォトレジストサイクル全体にわたって所望の厚さであることを保証し、超精密なレジストパターニング結果を可能にします。このマシンはまた、先制的なクリーニングインシトゥ（CIS）機能を提供し、フォトレジストがイメージング前に常に自然な状態にあることを保証します。CIS機能は、最適なフォトレジスト接着を実現することと、フィルム接着損失を回避することとの間で貴重なバランスを作り出します。さらに、このツールには最上位のEdge-Tilt Compensation （ETC）機能も含まれており、リトエッチング中に発生するレジストパターン変位を迅速かつ正確に補正します。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusアセットが提供するオートメーションは、手作業による介入の必要性を排除することで、ファブスループットも向上します。統合されたプロセス診断モデル（PD）は、プロセスのバリエーションを検出して排除し、レジストカセットの最適な処理を確実にすることができ、より速く、より正確な製造結果を得ることができます。全体として、Clean Track Lithiusは半導体製造のための効果的で信頼性の高いフォトレジスト機器です。フィルムの厚さ、プリエンプティブクリーニング、エッジチルト補償、高度なプロセス診断を正確に制御すると同時に、手動介入の必要性を取り除くことでサイクルタイムを短縮することで、最高のリソグラフィ結果を提供します。このシステムは、フォトレジストサイクル全体で一貫した信頼性の高い結果を保証します。