中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9217452 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、すべてのリソグラフィ用途において、正確でクリーンで一貫した結果を提供するように設計された完全自動フォトレジスト装置です。高度な画像処理ソフトウェアを使用して、フォトレジスト、アクリル、PMMA、ポリイミドなど、さまざまなフォトレジスト材料に一貫した結果をもたらします。レンズ、回折光素子、ミラー、波長フィルタなどの高度な光学部品を組み合わせて、フォトレジスト材料に均一なビームを作成します。このアプリケーションは、基板を完全にカプセル化し、わずか1秒で均一なカバレッジ層を作成するようにビームを処理します。これにより、露出された材料が正確で、最高の品質と性能を保証します。機械の高度の空気軸受け段階用具は0。5mm/sの最高のスキャン速度の精密で、反復可能な動きを提供します。また、基板温度のリアルタイム監視を提供し、一貫性のある反復可能な結果を保証します。この機能により、目的の基板を一貫して処理するために必要な時間がさらに短縮されます。また、自動洗浄機能も搭載しています。モデルのノズル洗浄およびノズル漏れ検出システムは、空気供給システムとノズルが一貫したスプレーを提供することを保証し、空気または材料の配送エラーの可能性を排除します。全体として、TEL Clean Track Lithiusは、すべてのリソグラフィ用途において一貫した反復可能な結果を提供するように設計された高度な精密フォトレジスト装置です。高度な光学部品、スキャン速度、および温度制御の組み合わせは、あらゆるリソグラフィ作業に適した完全なソリューションを提供します。さらに、自動洗浄機能により、一貫した均一なビームカバレッジと信頼性の高い基板温度レベルを保証します。