中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9213599 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track半導体ウェーハ上の回路をパターン化するフォトレジスト装置です。このシステムは、マスクレスレーザーリソグラフィ技術を使用してフォトレジストのパターンを書き出し、半導体ウェーハに転送することができます。このプロセスは、2つ以上のフォトレジストをウェーハ表面に適用することを含みます。最初のフォトレジストは、回路要素を形成するためにドットまたはラインのパターンを堆積するために使用され、2番目のフォトレジストはパターン化されたラインの上に連続的なラインを形成します。これにより、回路の細かい詳細をより正確に制御できます。TEL Clean Track Lithiusユニットは、レーザービームを使用して、ウェーハ上のフォトレジストの高解像度パターンを彫刻します。パターンの深さは異なった回路設計のために調節可能です。フォトレジストは、半導体基板をエッチングするためのマスクとして機能し、エッチング溶液を使用してウェーハ上に正確なパターンを作成します。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusマシンは、ウェーハ上に複雑で高解像度のパターンを生成するための信頼性の高いソリューションです。このツールは、幅広い材料で動作し、さまざまなレジスト設計プロセスで使用することができます。それは優れた精度でクリーンで一貫した結果を提供します。また、高速レーザースキャンとパターニング機能により、高い生産性を実現しています。このモデルは、簡単な操作、メンテナンス、修理のために設計されています。このフォトレジスト装置は、堆積、酸化、拡散、エッチングなどのすべての主要な半導体製造プロセスと互換性があります。幅広い用途により、半導体、電子機器、自動車製造などの複数の産業に最適です。このシステムは複雑なパターンを容易に処理することができ、多層フォトマスクの製造に特に役立ちます。結論として、Clean Track Lithiusは、幅広い用途に対応できる高度なフォトレジストユニットです。優れた精度と高速レーザースキャン機能により、信頼性が高く効率的です。機械は作動し易く、維持し、すべての主要な半導体の製作プロセスと互換性があります。これにより、ウェーハ上の複雑なパターンを製造するための複数の業界にとって理想的なソリューションとなります。